用于C4F6・C5F8・COS的检测器 TP-70DGⅡ
特征：
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通过采用含有催化剂的热分解器，实现减少干扰带来的影响
单触式的传感器更换方式
搭载新型智能化传感器
采用易于观察的大型字符LCD
搭载流量自动调整功能
用途：
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用于检测半导体工厂内的C4F6/C5F8/COS
用于对储气瓶存放柜及半导体制造装置进行检测
用于无尘室内的环境监测
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产品类别 |
固定式 |
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类型 |
智能型检测部 |
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检测对象气体 |
C4F6/C5F8/COS |
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检测原理 |
催化＋定电位电解式 |
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检测范围 |
0～5ppm（C4F6・C5F8） |
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报警设定值 |
1st：2ppm/2nd:4ppm（C4F6・C5F8） |
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检测方式 |
泵吸式 |
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报警种类 |
气体报警/故障报警 |
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报警内容 |
1st：ALM1指示灯闪烁、或亮灯(红色) |
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电源 |
AC100～240V±10% |
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外形尺寸・重量 |
约180(W)×225(H)×285(D)mm（不包含突起部分） |
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使用时的温湿度范围 |
20～40℃（无骤变） |